SJ6000導軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。
SJ6000三坐標幾何誤差激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。可以檢測三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000數(shù)控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
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