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W系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在微電子、微機械、微光學等領域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

白光干涉顯微測量儀，非接觸、三維白光掃描干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

一鍵批量分析白光干涉測頭,是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點

白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

白光干涉測頭 主要特點：便攜可搭載 一鍵批量分析 生產企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

?SuperViewW1三維白光干涉形貌儀支持納米級高度測量，0.4μm級別的線寬測量，最大支持80倍的槽深寬比測量，具備點、線、面相關的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能。