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SuperViewW1光學(xué)三維輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

SJ5730高精度輪廓度測(cè)量?jī)x是測(cè)量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺(tái)采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動(dòng)垂直道軌，移動(dòng)精度高、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)；測(cè)量效率高、操作簡(jiǎn)單、適用于車間檢測(cè)站或計(jì)量室使用。

SuperViewW1輪廓度光學(xué)測(cè)量?jī)x由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。針對(duì)芯片封裝測(cè)試流程的測(cè)量需求，SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定

SJ5800中圖接觸式輪廓儀可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測(cè)量。同時(shí)儀器還可對(duì)各種精密零件輪廓度、波紋度進(jìn)行測(cè)量，對(duì)形狀參數(shù)進(jìn)行分析。

SuperViewW1粗糙度輪廓光學(xué)測(cè)量?jī)x采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器輪廓掃描測(cè)量?jī)xX軸、Z軸采用獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，使用先進(jìn)的兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法，可實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描，測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問題。該產(chǎn)品還支持量程定制，適用于各行業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室或工作現(xiàn)場(chǎng)使用。