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中圖儀器SuperViewW光學3D輪廓儀粗糙度在線檢測設備基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SJ5800系列軸承表面粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業測試軸承內外側。分辨率高達到0.1nm，系統殘差小于3nm，高穩定、高精密測量軸承。

中圖儀器國內粗糙度儀和輪廓儀廠家采用超高精度納米衍射光學測量系統、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動系統、高性能計算機控制系統技術，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現一次掃描測量。

SuperViewW廣東光學3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SJ5700DUAL雙向型輪廓掃描儀X軸、Z軸采用獨立運動系統，使用兩軸聯動運動控制算法，可實現X、Z雙軸聯動掃描，測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。可以全量程大范圍連續掃描，擁有長達數百毫米的持續爬坡能力。

中圖儀器SuperViewW多模式三維光學輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能和自動拼接測量、定位自動多區域測量功能。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。