三維表面輪廓儀是利用光線投射到被測物體上，通過記錄反射光線的強弱、方向、時間等信息來計算物體表面形狀和特征。其基本組成包括掃描探測器、光源系統、數據采集系統、數據處理系統等部分。
 

　　掃描探測器：采用激光干涉儀或電容式傳感器等技術，對被測物體進行無接觸式掃描探測，獲取物體表面的坐標和形狀信息。
 

　　光源系統：采用單色光源或白光干涉儀等技術，產生高亮度、高分辨率的光線，以確保探測精度。
 

　　數據采集系統：數據采集系統負責對掃描到的物體表面坐標和形狀信息進行采集，而且它可以在較短時間內完成大量數據的采集。
 

　　數據處理系統：數據處理系統通過對采集到的數據進行數字化處理、數據擬合、曲面分析等操作，得出被測物體的三維表面輪廓和特征。
 

　　三維表面輪廓儀根據光波的干涉原理，儀器本身產生的可見光通過單色濾光片濾掉雜散光，變成了單一相位的光波，此光波通過掃描器掃描到被測量的光學材料上，與光學材料本身產生的光波發生了光波干涉，從而產生干涉條紋，兩個光波的波面間也產生連續的相位變化；
 

　　干涉標準鏡和圖像采集器將獲取的干涉波的干涉條紋信號捕捉到后輸入計算機，經用軟件將獲取的數據進行處理和擬合，在計算機顯示器上獲得了模擬的圖形，達到了光學材料的測量(彎度、平面、三維圖像)其精度可達3.5納米量級，掃描范圍擴展到縱向20mm，且具有較高的自動化程度和目鏡可以更換的人性化設計。
 

　　性能特點都有哪些呢？
 

　　1、大面積傳感器：高靈敏度，在單次測量中獲取更多的信息；
 

　　2、高速測量：只需幾秒時間，優化的測試能力和程序控制；
 

　　3、自動零件聚焦和定位：減少操作員測試差異，提高培訓和測試效率；
 

　　4、重復性特征：優異的測量精度和可重復性，為高要求的生產應用提供服務；
 

　　5、抗震計量：采用抗震技術，在震動環境下也可實現高質量的計量；
 

　　本產品采用幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；一鍵分析、多文件分析，自由組臺分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能。
 

　　三維表面輪廓儀作為現代制造業中的重要檢測工具，具有高精度、高速度、非接觸式檢測和自動化程度高的優點。它在汽車制造、航空航天、電子產品、醫療器械等領域都有廣泛的應用，為生產過程的精益化管理和質量控制提供了重要的技術支持和保障。